青島育豪微電子設(shè)備有限公司
已認(rèn)證
主營(yíng)：擴(kuò)散爐系列,真空爐系列,鏈?zhǔn)剿淼罓t系列,氫氣爐系列,砷化鎵單晶爐系列,LED專用設(shè)備,太陽(yáng)能光伏擴(kuò)散爐,磁性材料專用設(shè)備
產(chǎn)品描述
◆ 全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡(jiǎn)便 ◆ 可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步 ◆ 工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能 ◆ 自動(dòng)運(yùn)行中可暫停繼續(xù)運(yùn)行功能 ◆ 工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能 ◆ 智能升降溫斜率控制功能 ◆ PID參數(shù)自整定功能 ◆ 可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能 ◆ 系統(tǒng)故障的檢測(cè)與報(bào)警功能 ◆ 系統(tǒng)誤差修正（單點(diǎn)或多點(diǎn)動(dòng)態(tài)修正功能） ◆ 智能懸臂推拉舟控制功能 ◆ 工藝氣體的程序控制功能（電磁閥質(zhì)量流量控制器） ◆ 停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等 該系統(tǒng)可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應(yīng)的功能。
◆ 工作溫度：2001000℃（溫度小于800℃）
◆控制精度：&le±1.0℃
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度：定制
◆開機(jī)重復(fù)性：&le±1.0℃
◆冷態(tài)真空度：101Pa
◆石英真空室內(nèi)徑：定制
◆控制儀表：日本島電公司原裝進(jìn)口控溫儀
◆環(huán)境溫度：10~45℃
◆相對(duì)濕度：&le85
◆供電電源：三相五線380V±10 50Hz
◆可用氣氛：H2，N2 ★可配工藝管數(shù)量：1~4管臺(tái)； ★工作溫度范圍：200～1000℃； ★恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：300～900mm 600~1000℃±0.5℃； ★單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：600～1000℃±0.5℃24h； ★可控升溫速度：15℃min ★降溫速度：15℃min
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