青島育豪微電子設(shè)備有限公司
已認(rèn)證
主營：擴(kuò)散爐系列,真空爐系列,鏈?zhǔn)剿淼罓t系列,氫氣爐系列,砷化鎵單晶爐系列,LED專用設(shè)備,太陽能光伏擴(kuò)散爐,磁性材料專用設(shè)備
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品說明：
擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件行業(yè)、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。
主要技術(shù)指標(biāo)：
★可處理硅片尺寸：2&mdash8英寸
★外型形式：臥式1&mdash4管結(jié)構(gòu)
★工作溫度：200℃&mdash1300℃
★恒溫區(qū)長度及精度：200mm&mdash1100mm&le±0.5℃
★單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：&le±0.5℃／24h
★溫度斜變：可控升溫速率20℃／min，
★可控降溫速率：5℃／min
★送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿是推拉舟、手動推拉
★氣路系統(tǒng)：1&mdash5路工藝氣體／管
★氣體控制：全自動MFC、手動浮子流量計
★控制方式：工控機(jī)、觸摸屏
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