青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

供應(yīng)擴(kuò)散爐

擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)是半導(dǎo)體器件及大規(guī)模集成電路制造過程中用于對(duì)晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備。其組成有：加熱爐（擴(kuò)散爐主機(jī)）、凈化工作臺(tái)、送片系統(tǒng)（推拉舟系統(tǒng)）、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。1、全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡(jiǎn)便。2、可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置

2017-06-07 1/臺(tái)

供應(yīng)程控?cái)U(kuò)散爐

程控?cái)U(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對(duì)所加工的硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。程控?cái)U(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)：u可處理硅片尺寸：2—12英寸u

2013-09-17 50000/臺(tái)