主營：擴散爐,氧化擴散爐,鏈式燒結爐,管式真空爐,真空燒結爐,氫氣還原爐,led合金爐,soft
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單價：1 元
供應擴散爐
單價：50000 元
供應程控擴散爐
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擴散/氧化系統(tǒng)是半導體器件及大規(guī)模集成電路制造過程中用于對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝的一種熱加工設備。其組成有：加熱爐（擴散爐主機）、凈化工作臺、送片系統(tǒng)（推拉舟系統(tǒng)）、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。1、全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡便。2、可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置
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