青島福潤德微電子設(shè)備有限公司

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主營:擴散爐,氧化擴散爐,鏈式燒結(jié)爐,管式真空爐,真空燒結(jié)爐,氫氣還原爐,led合金爐,soft

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  • 供應程控擴散爐
    供應程控擴散爐

    程控擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè),對所加工的硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。程控擴散爐技術(shù)指標:u可處理硅片尺寸:2—12英寸u

    2013-09-17 50000/臺