CEM3000國產(chǎn)SEM掃描電鏡

中圖儀器CEM3000SEM掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。不同于立式電鏡，CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結果。

 

產(chǎn)品功能

1）臺式電鏡緊湊的外型，CEM3000系列臺式掃描電鏡能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據(jù)用戶需求，輕松移機，一臺機器多處開花；

2）高分辨率，能夠對微尺寸特征進行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；

3）快速抽放氣，憑借真空系統(tǒng)設計，該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間；

4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動調節(jié)功能，無需過多人工操作，就可得到高質量拍攝圖片；

5）大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；

6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術，基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；

7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據(jù)需要設定電鏡樣品倉內真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測；

8）能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇，滿足專業(yè)用戶的調節(jié)需求；

9）搭配有多種探頭，能夠對樣品進行多種手段的分析。

 

應用領域

CEM3000SEM掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設計，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節(jié)功能，能夠對不同類型的樣品進行觀測，具有高空間分辨率。

用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時接收多種信號，對樣品進行分析。

應用范例：

 

產(chǎn)品選型

CEM3000SEM掃描電鏡設有CEM3000A（大樣品倉）、CEM3000B（抗振型）兩款子機型，分別在樣品倉容量、抗振性方面進行了強化加深和技術拉通，兩者具有高通用性，但又各有千秋。為客戶提供更適合的產(chǎn)品方案，讓用戶在進行分析時更加得心應手。

 

部分技術指標

型號		CEM3000A（大樣品倉型）
電子槍	燈絲	鎢燈絲
	分辨率	優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)  @20kV
	加速電壓	1 ~ 20kV
放大倍數(shù)		電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接）
探測器	二次電子	標配
	背散射電子	標配（四象限高分辨探頭）
	能譜儀	選配
自動化軟件		標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強
		選配：顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建
真空系統(tǒng)	真空度	高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配）
	抽真空時間	低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min
樣品臺	自動軸	X，Y，T
	手動軸	R，Z
	行程范圍	X: 50mm
		Y: 50mm
		R: 0°~360°（手動旋轉、電子束旋轉）
		T: -22.5°~ 22.5°
		Z: 45mm
	樣品尺寸	70mm×70mm（水平） 45mm（高度）
倉內相機	導航相機	標配高分辨彩色相機
	側視相機	標配高分辨紅外相機
操作系統(tǒng) 圖片尺寸		Windows10 (64bit)
		640×480
		1280×960
		2560×1920
		5120×3840
		10240×7680

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