主營(yíng):指示表自動(dòng)檢定儀,螺紋綜合測(cè)量機(jī),激光干涉儀,光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī),輪廓測(cè)量?jī)x,激光跟蹤儀,影像測(cè)量?jī)x,三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
CEM3000系列電鏡掃描儀器空間分辨率出色和易用性強(qiáng),用戶能夠非?旖莸剡M(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。CEM3000系列上還運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計(jì),讓用戶在使用時(shí)不再等待,且全系列可選配低真空系統(tǒng),以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉(cāng)內(nèi)真空度,滿足不同樣品的觀測(cè)需求。
1.高分辨率,滿足用戶觀測(cè)需求;
2.快速抽放氣,縮短等待時(shí)間;
3.高易用性
可快速成像,一鍵成片;
4.多種成像參數(shù)
滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
5.高抗振防磁性能
強(qiáng)抗干擾能力;
6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉(cāng)內(nèi)真空度,進(jìn)而對(duì)不同類型的樣品進(jìn)行觀測(cè)。
7.大樣品倉(cāng)
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時(shí),具有比肩立式電鏡的大倉(cāng)室,從而容納更大尺寸樣品;
8.多探測(cè)器
可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
1.高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級(jí)別景深,具有高空間分辨率。
4.多探測(cè)器可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
CEM3000系列電鏡掃描儀器在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價(jià)值,標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對(duì)多類型樣品的觀測(cè)需求,實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。此外,該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
CEM3000系列電鏡掃描儀器外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì),避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí),該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測(cè),具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時(shí)接收多種信號(hào),對(duì)樣品進(jìn)行分析。
應(yīng)用范例:
CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡,設(shè)有CEM3000A(大樣品倉(cāng))、CEM3000B(抗振型)兩款子機(jī)型,分別在樣品倉(cāng)容量、抗振性方面進(jìn)行了強(qiáng)化加深和技術(shù)拉通,兩者具有高通用性,但又各有千秋。
為客戶提供更適合的產(chǎn)品方案,讓用戶在進(jìn)行分析時(shí)更加得心應(yīng)手。
型號(hào) |
CEM3000A(大樣品倉(cāng)型) |
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電子槍 |
燈絲 |
鎢燈絲 |
分辨率 |
優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV |
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加速電壓 |
1 ~ 20kV |
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放大倍數(shù) |
電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) |
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探測(cè)器 |
二次電子 |
標(biāo)配 |
背散射電子 |
標(biāo)配(四象限高分辨探頭) |
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能譜儀 |
選配 |
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自動(dòng)化軟件 |
標(biāo)配:自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) |
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選配:顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量、纖維測(cè)量、三維粗糙度重建 |
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真空系統(tǒng) |
真空度 |
高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 |
低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min |
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樣品臺(tái) |
自動(dòng)軸 |
X,Y,T |
手動(dòng)軸 |
R,Z |
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行程范圍 |
X: 50mm |
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Y: 50mm |
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R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)) |
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T: -22.5°~ 22.5° |
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Z: 45mm |
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樣品尺寸 |
70mm×70mm(水平) 45mm(高度) |
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倉(cāng)內(nèi)相機(jī) |
導(dǎo)航相機(jī) |
標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) |
標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) |
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操作系統(tǒng) 圖片尺寸 |
Windows10 (64bit) |
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640×480 |
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1280×960 |
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2560×1920 |
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5120×3840 |
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10240×7680 |
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