CEM3000國(guó)產(chǎn)SEM掃描電鏡

中圖儀器CEM3000SEM掃描電鏡是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析的緊湊型設(shè)備。不同于立式電鏡，CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。

 

產(chǎn)品功能

1）臺(tái)式電鏡緊湊的外型，CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡能夠不受場(chǎng)地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時(shí)CEM3000也能根據(jù)用戶需求，輕松移機(jī)，一臺(tái)機(jī)器多處開(kāi)花；

2）高分辨率，能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀測(cè)分析，滿足用戶的觀測(cè)需求；

3）快速抽放氣，憑借真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，該系列臺(tái)式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時(shí)間；

4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，無(wú)需過(guò)多人工操作，就可得到高質(zhì)量拍攝圖片；

5）大樣品倉(cāng)，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時(shí)，具有比肩立式電鏡的大倉(cāng)室，從而容納更大尺寸樣品；

6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術(shù)，基于復(fù)合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；

7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉(cāng)內(nèi)真空度，進(jìn)而對(duì)不同類(lèi)型的樣品進(jìn)行觀測(cè)；

8）能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇，滿足專(zhuān)業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求；

9）搭配有多種探頭，能夠?qū)�樣品進(jìn)行多種手段的分析。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

CEM3000SEM掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強(qiáng)，整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì)，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí)，該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，能夠?qū)Σ煌��?lèi)型的樣品進(jìn)行觀測(cè)，具有高空間分辨率。

用戶可在CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時(shí)接收多種信號(hào)，對(duì)樣品進(jìn)行分析。

應(yīng)用范例：

 

產(chǎn)品選型

CEM3000SEM掃描電鏡設(shè)有CEM3000A（大樣品倉(cāng)）、CEM3000B（抗振型）兩款子機(jī)型，分別在樣品倉(cāng)容量、抗振性方面進(jìn)行了強(qiáng)化加深和技術(shù)拉通，兩者具有高通用性，但又各有千秋。為客戶提供更適合的產(chǎn)品方案，讓用戶在進(jìn)行分析時(shí)更加得心應(yīng)手。

 

部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)		CEM3000A（大樣品倉(cāng)型）
電子槍	燈絲	鎢燈絲
	分辨率	優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)  @20kV
	加速電壓	1 ~ 20kV
放大倍數(shù)		電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接）
探測(cè)器	二次電子	標(biāo)配
	背散射電子	標(biāo)配（四象限高分辨探頭）
	能譜儀	選配
自動(dòng)化軟件		標(biāo)配：自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng)
		選配：顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量、纖維測(cè)量、三維粗糙度重建
真空系統(tǒng)	真空度	高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配）
	抽真空時(shí)間	低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min
樣品臺(tái)	自動(dòng)軸	X，Y，T
	手動(dòng)軸	R，Z
	行程范圍	X: 50mm
		Y: 50mm
		R: 0°~360°（手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)）
		T: -22.5°~ 22.5°
		Z: 45mm
	樣品尺寸	70mm×70mm（水平） 45mm（高度）
倉(cāng)內(nèi)相機(jī)	導(dǎo)航相機(jī)	標(biāo)配高分辨彩色相機(jī)
	側(cè)視相機(jī)	標(biāo)配高分辨紅外相機(jī)
操作系統(tǒng) 圖片尺寸		Windows10 (64bit)
		640×480
		1280×960
		2560×1920
		5120×3840
		10240×7680

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。

 

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