安徽貝意克設備技術有限公司

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Anhui BEQ Equipment Techonology Co., Ltd
主營:管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng),升華儀

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自動RTP快速升溫管式爐

價格

面議

  • 單價:電議
  • 最小起訂量: 1
  • 所在地:安徽 合肥
  • 供貨總量: 5
  • 發(fā)布時間:2023-09-12

聯(lián)系方式

產(chǎn)品描述

項目 主要技術指標 數(shù)據(jù)
規(guī)格型號 BTF-1200C-RTP-180  
溫度控制 溫度點 1200℃
額定溫度 1100℃
穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 100~1050℃
溫度測量 ?0.2℃
溫度控制重復性 ?1℃
溫度控制 ?1℃
溫場均勻性 ?2℃
溫度狀態(tài)工藝時間 2~100(100~1050℃)
升溫速率 30℃/S(可根據(jù)客戶需求定制)
降溫速率 1~300,可以采用打開爐體降溫或移除爐管降溫同時啟動流量計閥控控制氣體冷卻
溫度控制模式 智能模糊全閉環(huán)控制
  觸摸屏尺寸 7"LCD 工控電腦
物理指標 功率(KW) 24
額定電壓 220V/AC380~400V 50-60HZ 自動匹配
傳感器類型 K型
反應腔室內(nèi)徑尺寸 Φ180?580
式樣有效空間 6
抽氣端口尺寸 KF25
供氣口尺寸 Φ6mm雙卡套
冷卻方式 自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣:2psi(0.14kg/cm2)– 7psi(0.5kg/cm2)
外形凈尺寸 長920?深500?高560mm
重量 約80Kg
   

 

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