LPCVD

所屬行業(yè)： 半導(dǎo)體工藝設(shè)備
產(chǎn)品內(nèi)容： 產(chǎn)品應(yīng)用：用于2-6英寸多晶硅、氮化硅、氧化硅薄膜生長(zhǎng)工藝及其摻雜如psg或bpsg等

產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆主機(jī)為水平三管爐系統(tǒng)構(gòu)架，獨(dú)立完成不同的工藝或相同工藝
◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門(mén)等動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制
◆采用懸臂送片器，操作方便、無(wú)摩擦污染等
◆關(guān)鍵部件均采用進(jìn)口，確保設(shè)備的高可靠性
◆工藝管路采用進(jìn)口閥門(mén)管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無(wú)污染（管路均采用ep級(jí)電拋光管），流量控制采用進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)（mfc）
◆工作壓力閉環(huán)自動(dòng)控制，提高工藝穩(wěn)定性和可靠性
◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好
◆具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能
◆高質(zhì)量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長(zhǎng)壽命

主要技術(shù)指標(biāo)
◆工作溫度：300～1000℃
◆適應(yīng)硅片尺寸：2～6英寸
◆裝片數(shù)量：30～100片/管
◆工藝管數(shù)量：1～3管（可選擇）
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度： 760mm±1℃（熱壁式，可形成溫度梯度）
◆極限真空度： 8.0× 10 -1 pa（約6.0× 10 -3torr）
◆工作真空度： 10 ～ 1000pa可調(diào)
◆淀積膜均勻性：片內(nèi)≤±5%
◆控制系統(tǒng)：整機(jī)控制系統(tǒng)采用工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（windows 系統(tǒng)界面，操作方便簡(jiǎn)潔）
◆氣源系統(tǒng)：進(jìn)口閥管件、自動(dòng)軌道焊接
◆典型工藝（僅供參考）：
①氮化硅淀積：提供典型工藝氣路（具體根據(jù)用戶的工藝要求調(diào)整）
參考工藝類(lèi)型： 3 nh3+4sih4 → si3n4+12h2 ……
②多晶硅淀積：提供典型工藝氣路（具體根據(jù)用戶的工藝要求調(diào)整）
參考工藝類(lèi)型： sih4 → si+2h2 ……
③ 二氧化硅淀積：提供典型工藝氣路（具體根據(jù)用戶的工藝要求調(diào)整）
參考工藝類(lèi)型： si(oc2h5)4 → sio2+ 4c2h4+2h2o （ dcs/n2o 等） ……
psg: teos-o2 體系， + 磷烷（亦可磷酸三甲酯、三氯氧磷）
bpsg: 在 psg 中加入 b2h6 （硼烷）或硼酸三甲酯
---- 薄膜淀積工藝（相應(yīng)的摻雜 - 僅供參考，具體根據(jù)客戶的情況作相應(yīng)的調(diào)整