美國 HVA 真空閘閥 21200 系列
美國 HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列特別適合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤溫度不超過 150°C的應(yīng)用。超長使用壽命1,000,000 啟動次數(shù)。清潔和高密封性保證 HVA 進(jìn)口閥門與低溫泵、渦輪分子泵,離子泵等無缺聯(lián)用。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
直線驅(qū)動允許使用焊接波紋管來密封驅(qū)動器。獨(dú)特的氣缸設(shè)計使沖擊和振動減少到較小。HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列真空腔內(nèi)沒有機(jī)械鎖,因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè)。所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動更容易。HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界較小的內(nèi)部表面區(qū)域。閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃,1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成,確保了閥門的較大完整性。 在保養(yǎng)方面,支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來。閥門手動、氣動可選,標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用。HVA 標(biāo)準(zhǔn)周期真空閘閥21200 系列可任意位置安裝。電磁閥控制并帶有手動超控。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列技術(shù)參數(shù)
閥門材質(zhì): |
|
閥門主體 |
304不銹鋼 |
焊接波紋管軸封 |
AM-350 |
驅(qū)動軸和驅(qū)動銷 |
硬質(zhì)不繡鋼 |
密封件 |
氟橡膠 |
真空: |
|
壓力范圍 |
1x10-9 mbar |
漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
差壓關(guān)閉 |
1 bar (任意位置) |
開啟前較大壓力 |
≤ 30 mbar |
烘烤溫度(不含電磁閥): |
|
佛橡膠密封 |
150 °c |
驅(qū)動方式 |
手動 60 °c;氣動 60 °c |
使用壽命:1,000,000啟閉次數(shù) |
|
公稱通徑:DN16-320 mm |
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 產(chǎn)品訂貨號及2D,3D圖展示
DN |
Model |
KF/ISO-F |
ISO-K |
CF-F* |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm |
inch |
Number |
3 (Bolted) |
6 (Clamped) |
0 or 4 (Conflat) |
|||
16 |
0.625 |
21212-006_ |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
40 |
1.5 |
21212-015_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
50 |
2 |
21212-020_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
63 |
2.5 |
21212-025_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
80 |
3 |
21212-030_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
100 |
4 |
21212-040_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
160 |
6 |
21212-060_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
200 |
8 |
21212-080_R |
2D |
3D |
2D |
3D |
2D |
3D |
250 |
10 |
21212-100_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
|
320 |
12 |
21212-120_R |
2D |
3D |
- |
2D |
3D |
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 產(chǎn)品部件圖
美國 HVA 真空閥門-美國較大真空閥門制造商。美國HVA****進(jìn)口真空閥門,超過50年的高真空和非常高真空閥門設(shè)計與制造。主營高真空閘閥,高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)較好****總代理商。
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