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氟化鈰 中文名稱:氟化鈰 英文名稱:Cerium fluoride 分子式:CeF3 分子量:197.11 性質(zhì):白色粉末與小米
作為半導(dǎo)體製造設(shè)備內(nèi)部的保護性塗層,半導(dǎo)體乾蝕設(shè)備內(nèi)部暴於高反應(yīng)性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件(如,石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以
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