作為半導體製造設備內部的保護性塗層，半導體乾蝕設備內部暴於高反應性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以
氧化鑭硝酸鑭碳酸鑭無水氯化鑭氫氧化鑭醋酸鑭草酸鑭氟化鑭 氧化鈰硝酸鈰碳酸鈰無水氯化鈰氫氧化鈰醋酸鈰草酸鈰白色氧化鈰 硫酸鈰氧化鈰拋光粉稀土
咨詢一下，不銹鋼材料做那種表面處理工藝，可以做到耐清洗劑和漂白劑
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