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等離子化學氣相沉淀反應爐
產品特點與普通的CVD系統相比，因為有等離子源的介入,系統的沉積溫度相對較低。配備有滑軌式管式爐可以輕松實現快速降溫，實現快速退火。操控界面可配備液晶操作系統，圖文顯示，直觀易懂，對于設備的使用操作簡單易學，該系統較高工作溫度接近1150℃，能滿足大多數熱處理場合。該設
2015-08-20 82000.0/臺