品名:鉍粒
純度:4N
規(guī)格:1-3mm
包裝:100g
用途:科研
適用設備:適用于北方華創(chuàng)、中科科儀、沈陽科儀、中電科、微電子所、南光機器廠、金盛微納、泰科諾、Kurt J.Lesker 愛發(fā)科、丹頓真空等各種單靶濺射系統(tǒng),多靶濺射系統(tǒng),離子濺射系統(tǒng)等磁控濺射設備。
應用領域:生產(chǎn)及科研方面應用,光學,微納加工,器件等行業(yè),廣泛用于半導體芯片、太陽能光伏 、平面顯示、特種涂層等鍍膜產(chǎn)品。
靶材規(guī)格
材質(zhì):鉍(Bi Target)。
純度:99.99%,99.999%,99.9999%。
晶粒度:45微米。
尺寸:Φ25,30,40,50.5,60,76.2,80,100,101.6mm,T:0.2-10mm等。
密度:9.80g/cm³。
表面粗糙度:Ra≤0.8um(濺射面),Ra≤6.4um(做金屬化)。
外觀:目視檢查無破損、劃傷、污跡、裂紋等在使用上有害的缺陷。
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