高純石墨
高純石墨一般指含碳量在99.99%以上的石 墨,在組織結構上可分為粗顆粒結構、細顆粒結構和超細顆粒結構三類,高純石墨大量用于直拉單晶硅爐中。集成電路的基礎材料主要是硅單晶芯片,目前硅單晶的成長工藝主要采用直拉法,其他方法還有磁場直拉法、區(qū)域法以及雙坩堝拉晶法,直拉單晶硅爐中的石墨件是消耗品,采用高純石墨材料加工成直拉單晶硅爐的加熱系統(tǒng)。
高純石墨另一重要用途是加工成各類坩堝,用于生產(chǎn)貴金屬、稀有金屬或高純金屬、非金屬材料。光譜分析用石墨電極也是一種高純石墨,可用于除碳元素以外的所有元素的光譜化學分析,光譜分析用石墨電極用擠壓方法成型。成品的雜質元素含量應不大于6*10-5。在光譜分析中制備標準樣品和用化學方法捕集雜質時需用光譜純炭粉或光譜純石墨粉,這兩種高純材料對雜質含量的要求都是在6*10-5;在某些用途方面,需要含碳量達到99.9995%,總灰分含量小于5*10-6。高純石墨的成型方法有擠壓成型、模壓成型及等靜壓成型三種。
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