產(chǎn)品描述
激光器特點
l 長期工作穩(wěn)定性高
l RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制
l 支持PWM功率控制
l LD模塊可現(xiàn)場更換
l TEM00基模輸出（M2<1.3）
l 體積小，結構緊湊
l 重復頻率30kHz-100kHz可調(diào)
應用范圍
l 薄膜蝕刻
l 材料微加工
l 微孔加工
l 晶圓切割
l 科學研究等
l 激光標記
技術參數(shù)
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型號 |
RM355Q-3W |
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波長 |
355nm |
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功率 |
3W@30KHz |
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單脈沖能量 |
100μJ@30kHz |
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頻率 |
30~100kHz |
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脈寬 |
<20ns@30KHz |
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光斑模式 |
TEM00 (M2<1.3) |
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光束直徑 |
0.5±0.1mm |
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功率穩(wěn)定性 |
<3% RMS over 8 hours |
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脈沖穩(wěn)定性 |
<3% RMS over 10mins |
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光點穩(wěn)定性 |
<50μrad |
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光束發(fā)散角 |
<2mrad (full angle) |
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光斑圓度 |
>90% |
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控制方式 |
RS232, Gate, Trigger |
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制冷方式 |
Air-cooling |
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偏振方向 |
Horizontal |
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偏振比 |
>100:1 |
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環(huán)境溫度 |
15°C ~ 35°C |
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相對濕度 |
10% ~ 80%（無結露） |
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預熱時間 |
<15mins |
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工作電壓 |
90V ~ 260V |
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