產(chǎn)品描述
電子級反式-1，2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC（DCE）
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名稱 |
反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC |
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化學式 |
C2H2Cl2 |
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相對分子量 |
96.94 |
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CAS號 |
156-60-5 |
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理化性質(zhì) |
無色略帶氣味液體，熔點－57℃，沸點48℃，密度1.265g/ml。易燃，其蒸氣與空氣可形成性混合物。與能發(fā)生強烈反應。與酸堿需隔離存放。 |
主要用途:
高純度氯源，主要用于晶圓制造過程中加快硅片氧化和清洗爐管。是半導體、分立器件、微機電系統(tǒng)（MEMS）、光伏制造業(yè)所需的電子化學品。
CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料
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Dielectrics PMD/IMD |
TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB |
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Low K Dielectrics |
4MS ,OMCATS |
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High K Dielectrics |
TAETO (Ta2O5 Precursor ) TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor) TMA (Al2O3 Precursor) |
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Metal Gate and Interconnect Metal |
TDMAT (TiN Precursor ) TiCl4 ( Ti /TiN Precursor ) |
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Low-Temp Nitride/Oxide |
HCDS |
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Diffusion |
POCl3 |
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