真空等離子清洗機(jī)設(shè)備表面處理機(jī)-金徠科技

腔體尺寸(W*D*H)

1025*850*948 mm

腔體材料

進(jìn)口316不銹鋼

等離子發(fā)生器

10KW  40kHZ Camdel 美國(guó)

抽風(fēng)系統(tǒng)

≥2立方/分鐘，中央尾氣處理管道即可

電較板數(shù)量

15層水平分布

處理層數(shù)

15層

單層處理較大面積

1030（W）*750（D）mm （可定制）

單次處理時(shí)間

3-30分鐘不等（根據(jù)產(chǎn)品特征，時(shí)間設(shè)定不同）

工作真空度

10～60Pa （可根據(jù)要求設(shè)定，可恒定真空度）

泵可抽較限壓力

≤1Pa

抽真空時(shí)間

90s以?xún)?nèi)

破真空時(shí)間

≤15s

工藝氣體

CF4 ;O2;N2;Ar;H2

供氣方式

高壓瓶裝氣體14MPa，減壓至0.1-0.3MPa

流量計(jì)調(diào)節(jié)范圍

0-2000ml/min/全自動(dòng)調(diào)節(jié)

溫度控制調(diào)節(jié)范圍

3匹速冷，30-85℃可調(diào)

真空泵系統(tǒng)

1級(jí)機(jī)械旋片真空泵 2級(jí)羅茨泵

真空測(cè)定系統(tǒng)

日本愛(ài)發(fā)科皮拉尼高準(zhǔn)確電阻式真空計(jì)

真空供氣系統(tǒng)

Ф6全不銹鋼管 不銹鋼鎖套管路

真空排氣系統(tǒng)

全不銹鋼管路 波紋管 2級(jí)過(guò)濾裝置

破真空系統(tǒng)

真空角閥

PLC自動(dòng)控制

三菱

人機(jī)工控系統(tǒng)

MCGS

變頻控制系統(tǒng)

寶島臺(tái)達(dá)，PID閉環(huán)控制，真空度可維持

機(jī)臺(tái)溫控系統(tǒng)

冰水模溫一體機(jī)，采用內(nèi)部單獨(dú)中通冰水循環(huán)冷卻系統(tǒng)

輸入氣壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

2路 日本SMC自動(dòng)啟動(dòng)緊急信號(hào)氣壓表

氣體計(jì)量系統(tǒng)

SevenStar MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)較好控制流量

冰水機(jī)（標(biāo)配）

/

真空機(jī)組（標(biāo)配）

300m³/H

系統(tǒng)重量

500KG

電源

AC380V，50/60Hz，三相五線100A 15KW

壓縮空氣要求

0.6～0.8MPa

循環(huán)冷卻水用量

/

系統(tǒng)環(huán)境溫濕度要求

溫度：5℃~ 25℃   相對(duì)濕度：<80%（25℃）

環(huán)境壓力

1.013×105pa