SJ6000激光干涉儀原理

一.SJ6000激光干涉儀功能特點(diǎn)

      測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

      具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢驗(yàn)功能�？梢詸z驗(yàn)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等準(zhǔn)確運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢驗(yàn)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。

      可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

      具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)量與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。

      內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，如國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（全部）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等�？梢罁�(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

      可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)�？蛇x擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

      測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。

      安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。

 

二.SJ6000激光干涉儀原理

一個(gè)角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長(zhǎng)度參考光束。另一個(gè)角錐反射鏡相對(duì)于分光鏡移動(dòng)，形成變化長(zhǎng)度測(cè)量光束。

 

從激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標(biāo)稱波長(zhǎng)為0.633µm，長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)定性（真空中）優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時(shí)，被分成兩束光—反射光束(2)和透射光束(3)。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中，在嵌于激光頭中的探測(cè)器中形成干涉光束。

 

如果兩光程差不變化，探測(cè)器將在相長(zhǎng)干涉和相消干涉的兩端之間的某個(gè)位置觀察到一個(gè)穩(wěn)定的信號(hào)。如果兩光程差發(fā)生變化，每次光路變化時(shí)探測(cè)器都能觀察到相長(zhǎng)干涉和相消干涉兩端之間的信號(hào)變化。這些變化（條紋）被數(shù)出來，用于計(jì)算兩光程差的變化。測(cè)量的長(zhǎng)度等于條紋數(shù)乘以激光波長(zhǎng)的一半。

 

應(yīng)當(dāng)注意到，激光波長(zhǎng)將取決于光束經(jīng)過的空氣的折射率。由于空氣折射率會(huì)隨著氣溫、壓力和相對(duì)濕度的變化而變化，用于計(jì)算測(cè)量值的波長(zhǎng)值可能需要對(duì)這些環(huán)境參數(shù)的變化進(jìn)行補(bǔ)償。在實(shí)踐中，對(duì)于技術(shù)指標(biāo)中的測(cè)量精度，只有線性位移（定位精度）測(cè)量需要進(jìn)行此類補(bǔ)償，在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。

三.SJ6000激光干涉儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)

數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)置的常用標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)名稱
ISO230-2	老版全部標(biāo)準(zhǔn)
ISO230-1997	新版全部標(biāo)準(zhǔn)
ANSI B5.54	美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
ASME B89.1.12M	美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
NMTBA	美國(guó)機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)
BS 3800	英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)
BS 4656	英國(guó)三測(cè)機(jī)標(biāo)準(zhǔn)
JIS B6330	日本國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
GB 17421-2000	中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
VDI 3441	德國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)