300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀

輸入電源

• 220VAC 50/60Hz, 單相
• 800W  (包括真空泵）

等離子源

一個(gè)300W，13.5MHz的射頻電源安裝在移動(dòng)柜內(nèi)

(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

磁控濺射頭

• 一個(gè) 2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接
• 靶材尺寸: 直徑為50mm,厚度6.35mm
• 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上（手動(dòng)操作，見圖左3）
• 濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺(tái)流速為16ml/min的循環(huán)水冷機(jī)）
• 同時(shí)可選配1英寸濺射頭
  

真空腔體

• 真空腔體：160 mm OD x 150 mm ID x  250mm H，采用高純石英制作
• 密封法蘭:直徑為165 mm .  采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封
• 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體，以屏蔽等離子體
• 真空度：10-3 Torr （采用雙極旋片真空泵）
•         10-5 torr （采渦旋分子泵）

載樣臺(tái)

• 載樣臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱
• 載樣臺(tái)尺寸：直徑50mm （可放置2英寸的基片）
• 旋轉(zhuǎn)速度：1 - 20 rpm
• 樣品的加熱溫度為700℃，(短期使用，恒溫不超過1小時(shí))，長期使用溫度500℃
• 控溫精度+/- 10℃
  

真空泵

可選用直聯(lián)式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統(tǒng)

薄膜測(cè)厚儀

• 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測(cè)厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜的厚度，分辨率為0.10 Å  
• LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
  

外形尺寸

質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證

• 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)
• CE認(rèn)證

使用注意事項(xiàng)

• 這款2英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜，所以并不需要太高的真空度
• 為了較好地排出真空腔體中的氧氣，建議用5%H2+95 %N2對(duì)真空腔體清洗，可有效減少真空腔體中的氧含量
• 請(qǐng)用純度大于5N的Ar來進(jìn)行等離子濺射，甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水，所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后，再導(dǎo)入到真空腔體內(nèi)