主營:平面研磨機(jī),平面拋光機(jī),雙面研磨機(jī),雙面拋光機(jī),鏡面拋光機(jī),橫向研磨機(jī),不銹鋼拋光機(jī),陶瓷拋光機(jī)
供應(yīng)FD-36A型四吸盤圓柱形硅片平面拋光機(jī) 研磨拋光機(jī)品牌及行情
圓柱形硅片平面拋光機(jī),主要用于各種大尺寸硅片及晶體材料的平面拋光,其獨特之處在于有四個吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時針旋轉(zhuǎn)來達(dá)到拋光的目的。
FD-36A型硅片平面拋光機(jī)特點:
1.本系列平面拋光機(jī)的吸附盤由四臺單獨的電機(jī)驅(qū)動、速度與壓力可調(diào)。
2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等先進(jìn)技術(shù),系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更,并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控,遠(yuǎn)程維護(hù)的功能;
3.本系列拋光機(jī)運行平穩(wěn),拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負(fù)0.002mm范圍內(nèi),粗糙度可達(dá)到0.4nm。
FD-36A型硅片平面拋光機(jī)技術(shù)參數(shù)
型號:FD-36A
拋光盤規(guī)格:φ910*φ300
拋光尺寸:φ300mm
拋光后平面度:±1u以內(nèi)
工件平行度(25mm):±2u以內(nèi)
工件粗糙度:0.4nm以內(nèi)
拋光盤電機(jī)功率: 7.7kw 3相380V
拋光盤轉(zhuǎn)速:0~80rpm
外形尺寸:1200*1400*2300mm
重量:2600kg
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