氣體流量計 氣體質量流量計

編號

項目

S48 300/HMT

1

流量規(guī)格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

2

調節(jié)閥類型

電磁調節(jié)閥

3

調節(jié)閥靜止狀態(tài)

常閉

4

安裝角度

任意

5

流量控制范圍

2%-100%F.S.

6

流量測量范圍

0-100%F.S.

7

響應時間

≤ 1 sec

8

工作環(huán)境溫度

5-50℃

9

精度保證溫度

15-35℃

10

精度

±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.)

11

線性精度

±0.5%F.S.

12

重復性

±0.2%F.S.

13

工作壓差

-5L/min (50-300)kPa(D)                         10L/min-30L/min (100-300)kPa(D)                50L/min (150-300)kPa(D)

14

耐壓

3MPa(G)

15

泄漏率

＜1×10-8Pa·m3/s(He)

16

接觸氣體材料

316L，Viton® 氟橡膠，PTFE

17

管路接頭

Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″

18

供電電源

±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA

19

設定信號

數(shù)字：RS485/RS232

模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ

20

流量輸出信號

數(shù)字：RS485/RS232

模擬：0 - +5V，負載能力≤3mA

21

通訊接口

數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps，

Modbus RTU 協(xié)議從機，設備號可選范圍0-15

22

重量(kg)

0.9