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MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術(shù),具有廣闊的應用前景。MEMS傳感器通常被分為以下7類:1、壓