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XRF的定性分析是指：由于各種元素的原子結(jié)構(gòu)不同，在光源的作用下都可以產(chǎn)生自己特征的光譜。如果一個樣品經(jīng)過激發(fā)攝譜在感光板上有幾種元素的譜線出現(xiàn)，就證明該樣品中有這幾種元素。這樣的分析方法就叫做光譜定性分析方法。

XRF用于定性分析方法有以下幾種：

　1.比較光譜分析法：這種方法應(yīng)用比較廣泛，它包括標準試樣比較法和鐵譜比較法。標準樣品比較法一般適用于單項定性分析及有限分析。鐵譜比較法它不但可以做單項測定還便于做全分析。

　2.譜線波長測量法：XRF利用譜線波長測量法進行定性分析是先測出某一譜線的波長，再查表確定存在的元素，這種方法在日常分析中很少使用，一般只是在編制譜圖或者做仲裁分析時才用。

   一般來講XRF定性分析可以分析元素周期表上的70幾個元素，但由于受到儀器和光源條件的限制有些元素如非金屬及鹵族元素等則需要在特殊的條件下才能測定,如真空條件下。XRF定性分析的特點是方法簡單、速度快、需要樣品量少并且固體、液體、粉末狀的樣品都可以進行的無損分析。對于大部份元素都有比較高的靈敏度。XRF定性分析可以分析試樣中一個或幾個指定元素，也可以全分析試樣中所有可能存在的元素。根據(jù)靈敏線的強弱來判斷它們在試樣中的大致含量。XRF定性分析只能給出試樣中存在元素、的粗略含量范圍，如大量、少量，還是微量，要想得到元素的正確含量就必須做光譜定量分析。

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