恒溫恒壓冷水機組

恒溫恒壓冷水機組系統(tǒng)參數(shù)

恒溫恒壓冷水機組控制系統(tǒng)在MOCVD半導(dǎo)體芯片設(shè)備的應(yīng)用

爭對深圳一生產(chǎn)LED芯片廠家的現(xiàn)狀，現(xiàn)車間有5臺MOCVD機、高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機各1臺，根據(jù)客戶需要進行恒溫恒壓供水設(shè)計。

初步設(shè)計5臺MOCVD機分別由2臺40HP和1臺20HP制冷系統(tǒng)分別對其進行恒溫恒壓供水，高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機1臺的供水由1臺15HP制冷系統(tǒng)進行恒溫恒壓供水，依據(jù)參數(shù)設(shè)計如下表：

設(shè)備	數(shù)量	冷水流量(m3/h)	供水壓力 （bar）	小壓差 （bar）	進水溫度 ℃	進水管徑 不繡鋼	所需配 冷水機	備注
1#MOCVD	1	10	4.83±0.69 （4-6）可調(diào)	2.76	18－20	DN25	40HP	水質(zhì)為 純凈水
2#MOCVD	1	10	4.83±0.69 （4-6）可調(diào)	2.76	18－20	DN25
3#MOCVD	1	10	4.83±0.69 （4-6）可調(diào)	2.76	18－20	DN25	40HP	水質(zhì)為 純凈水
4#MOCVD	1	10	4.83±0.69 （4-6）可調(diào)	2.76	18－20	DN25
5#MOCVD	1	10	4.83±0.69 （4-6）可調(diào)	2.76	18－20	DN25	20HP	水質(zhì)為 純凈水
高溫烘爐	1	12	2.5		22－25	DN50	15HP	水質(zhì)為 純凈水
單管退火爐	1	3				DN20
XRD	1	0.36	4	――	15－25	DN15

 

二：變頻恒壓供水特點:
1.恒壓供水能自動24小時維持恒定壓力，并根據(jù)壓力信號自動啟動備用泵，無級調(diào)整壓力，供水質(zhì)量好，與傳統(tǒng)供水比較，不會造成管網(wǎng)破裂及水龍頭共振現(xiàn)象。
2.動平滑，減少電機水泵的沖擊，延長了電機及水泵的使用壽命，避免了傳統(tǒng)供水中的水錘現(xiàn)象。、采用變頻恒壓供水保護功能齊全，運行可靠，具有欠壓、過壓、過流、過熱等保護功能。
4.系統(tǒng)配置可實現(xiàn)全自動定時供水,徹底實現(xiàn)無人值守自動供水.控制系統(tǒng)具有故障報警和顯示功能,并可進行工變頻轉(zhuǎn)換,應(yīng)急供水。
5.系統(tǒng)根據(jù)用戶用水量的變化來調(diào)節(jié)水泵轉(zhuǎn)速，使水泵始終工作在高效區(qū)，當系統(tǒng)零流量時,機組進入休眠狀態(tài),水泵停止，流量增加后才進行工作,節(jié)電效果明顯，比恒速水泵節(jié)電23%-55%。
6.變頻恒壓供水設(shè)備不設(shè)樓頂水池，既減少建筑物的造價，又克服了水源二次污染，氣壓波動大，水泵啟動頻繁和建造水塔一次性投資大，施工周期長，費用高等缺點。
7.整套設(shè)備只需一組控制柜和水泵機組，安裝非常方便，占地面積少。
8.本設(shè)備采用全自動控制，操作人員只需轉(zhuǎn)換電控柜開關(guān)，就可以實現(xiàn)用戶所需工況，操作簡單。

三：系統(tǒng)組成      

本工程為冷凍水循環(huán)系統(tǒng)，采用2臺40HP水冷開放式冷水機、1臺20HP水冷開放式冷水機、1臺15HP水冷開放式冷水機組，系統(tǒng)分成3組循環(huán)；

○.水塔和制冷主機稱為冷卻水循環(huán)，此循環(huán)為自來水，為制冷主機散熱冷卻；

○.制冷主機與儲水箱之間為內(nèi)部循環(huán)，此循環(huán)為純凈水，制冷主機把儲水箱內(nèi)的水降到18-20℃；

○.儲水箱與MOCVD之間的為外部冷凍水循環(huán)，此循環(huán)為純凈水，高壓水泵把水箱內(nèi)18-20℃水經(jīng)精密過濾器后送到MOCVD設(shè)備，從設(shè)備出來23-25℃的水回至儲水箱，進入MOCVD設(shè)備的入水壓力在4-6bar之間，且壓力可通過控制面板的設(shè)定來調(diào)節(jié)所需的值。

冷卻水及其它配件內(nèi)循環(huán)水泵、外循環(huán)水泵、冷卻水塔、冷水儲水箱、變頻器、點壓力變送器、高精密過濾器等組成。

四：恒壓供水工作原理: （以40HP帶2臺MOCVD設(shè)備為例，參考圖紙恒壓供水設(shè)備示意圖）
○.外循環(huán)變頻恒壓供水系統(tǒng)采用壓力控制器面板設(shè)定點壓力（進入2臺設(shè)備前的水壓力值），采用2個壓力傳感器（反饋為4~20mA）檢測水管中壓力，壓力傳感器將信號送入變頻器PID回路，PID回路處理之后，送出一個水量增加或減少信號，控制馬達轉(zhuǎn)速，來調(diào)節(jié)入水的壓力值。

○.如進入2臺MOCVD的壓力不同，控制器的PLC會自動計算出進入2臺MOCVD前的點壓力平均值，再反饋為4~20mA給變頻器的PID回路，盡量使進入2臺MOCVD的入水壓力相同，使實際水管壓力與設(shè)定壓力相一致。

○.設(shè)定值與實際值產(chǎn)偏差可在±0.5bar，進水壓力可恒定在設(shè)定值的所允許的范圍內(nèi)（±0.5bar）。

○.當2臺MOCVD的進水壓力過高或過低時，裝在系統(tǒng)管道上的壓差旁通會進自動調(diào)節(jié)水的流向，使進入臺MOCVD實際水管壓力與設(shè)定壓力相一致，隨著用水量的減少，變頻器自動減少輸出頻率，達到了節(jié)能的目的。

五：恒溫供水說明（參考圖紙恒壓供水設(shè)備示意圖）

恒溫體現(xiàn)在內(nèi)循環(huán)系統(tǒng)上，制冷主機與儲水箱之間為內(nèi)部循環(huán)，此循環(huán)為純凈水，制冷主機把儲水箱內(nèi)的水溫恒定到18-20℃；

△  T---表示溫度偏差，表示壓縮機加載或卸載的溫度差（△T以下設(shè)定為         

0.5℃）。

T  ---表示水箱的實際溫度值

Ts---表示水箱的設(shè)定溫度值（Ts以下設(shè)定為18.5℃）

 

能量調(diào)節(jié)；有2個壓縮機：在升溫過程中，當T>Ts時啟動1臺壓縮機，當T >= Ts+△T時啟動2臺壓縮機；在降溫過程中，當T時，停一臺，當T－△T時全停。

升溫過程中，△T設(shè)定0.5℃，如水箱溫度Ts設(shè)定18.5℃，當水箱內(nèi)實際溫度T≥19℃，控制器1#和2#壓縮機輸出，壓縮機延時開啟，機組進行制冷 ，水箱內(nèi)溫度下降；

降溫過程中，水箱溫度Ts設(shè)定18.5℃，當水箱內(nèi)實際溫度T＝18.5℃時，2#壓縮機停止輸出，2#壓縮機停止運行，只開啟1個壓縮機，當水箱內(nèi)實際溫度T＝18℃時, 1#壓縮機停止輸出，此時所有壓縮機全部停止運行，機組處于待機恒溫狀況。

如此往復(fù)循環(huán)，水箱內(nèi)溫度可穩(wěn)定在18-20℃之間，

機組次使用需提前半個小時開機，以便水箱溫度達到設(shè)定的溫度