半導體配件自動智能式超聲波清洗機

VGT-907FHA 為半導體配件自動智能式超聲波清洗機，設備共有 9 個功能槽，配置有循環(huán)過濾系統(tǒng)、自動恒溫系統(tǒng)、觸摸屏系統(tǒng)、拋動系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、預熱箱系統(tǒng)、溢流系統(tǒng)、鼓泡系統(tǒng)、酸洗系統(tǒng)、IPA 脫水系統(tǒng)等。設備采用水溶劑洗滌、純水漂洗、IPA 脫水，為環(huán)保型清洗機；

清洗過程中工件通過超聲波高頻產(chǎn)生的“氣化現(xiàn)象”的沖擊和系統(tǒng)自身不停地作上下運動，增加了液體的摩擦，從而使工件表面的污垢能夠迅速脫落，實現(xiàn)其高清潔度的目的。

本設備工件提升及橫移機構(gòu)：由自動智能式機械手完成

提升結(jié)構(gòu)：

由電機帶動鏈條傳送實現(xiàn)工件的提升下降運動，電機采用日本“松下”伺服馬達（速度變頻可調(diào)），功率 1/2HP。

橫移結(jié)構(gòu)：

1. 電機采用日本“松下”伺服馬達；

2. 速度變頻可調(diào)。

優(yōu)勢：

1. 為保證清洗工件及清洗液的潔凈，傳動機構(gòu)不位于洗凈工件的上部，可避免輸送時金屬磨耗粉、潤滑油等掉落。

2. 后部傳動機構(gòu)與前部溶劑清洗區(qū)域用隔板分開，防止后部傳動粉塵進入前部。

本設備的超聲IPA脫水漂洗槽的槽體結(jié)構(gòu)：

1. 每槽設四面溢流口，溢水槽寬 35 mm;

2. 配備 IPA 滅火系統(tǒng)、防爆系統(tǒng)；

3. 各槽底部設排液閥；

4. 槽外設置拋動；

5. 加熱功率：無;

6. 槽體采用內(nèi)外雙面焊接，以防微小雜物殘留在縫隙中。

本設備的鼓泡系統(tǒng)：

1. 氣源：接入氮氣源；為有效防止“二次污染”，請謹慎接入空壓機氣源；如確要接入空壓機氣源，請務必接入干凈、干燥、過濾后的氣體；

2. 流量：流量可調(diào)；

3. 鼓泡管離槽體底部約 50mm 處，方便清理。

本設備的運輸、安裝調(diào)試及技術(shù)服務：

1. 運輸：供方負責，需方負責設備到廠后的現(xiàn)場就位工作；

2. 供方負責安裝調(diào)試，隨設備到需方現(xiàn)場安裝調(diào)試，供方配合需方試清洗及觀察 3 天；

3. 提供從設備驗收合格之日起 1 年的免費技術(shù)支持及服務，對非人為損壞或自然災害等造成的損壞，保證省內(nèi) 24 小時內(nèi)響應，省外 48 小時內(nèi)響應；保修期過后，實行以人工旅差費 材料費結(jié)算的優(yōu)惠維修服務。